4420、4520、4720 Series Plasma Etcher

　　Rainbow设备是Lam传统的单腔体型刻蚀设备，刻蚀线英寸及以下晶圆的氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金属材料的刻蚀。Rainbow设备占地面积小、设备集成度高，适用于规模化生产。同时，设备配备强大的射频系统及气路系统，可实现多种工艺的兼容开发。Rainbow系列设备可选配静电吸附、Envision系统等，可根据不同的工艺要求选择适用的配置；设备市场保有量大，备件渠道完善。

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　　 可选配Envision操作系统，提供更便捷的操作，更强的数据记录及数据通信

　　 升级传送及腔体套件，匹配透明片、薄片的传送及配套工艺

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　　 可定制高精度偏压射频，实现GaN、GaAs等材料的低损伤刻蚀

　　 可定制真空系统升级，增加分子泵及升级压力稳定系统，配合定制化的RF系统，满足特殊工艺选择比、深宽比及更小线宽的需求

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　　 软件具有安全方便的权限管理、人性化的操作界面和完善的日志记录功能，支持工厂自动化